中国の光学機器の大手メーカーであるSHINE OPTICS社の高品質で低価格なレーザー平面干渉計G100Mをご紹介します。
- 100mmの有効開口を備えたG100Mは、正立式構造を採用し平面部品の平置き測定・高精度測定に適します。
- 高性能で長寿命のレーザー・高解像度の光学系・1～6倍の画像拡大機能・精密な平面標準ミラーなど
最先端の技術を結集して高精度な平面光学部品の測定を実現します。 - 位相シフト干渉縞解析ソフトウェア「Sirius」を搭載し測定精度と効率を向上します。
- 測定デモやお客様のニーズに合わせたカスタマイズのご相談などお気軽にお問い合わせください。
仕様
| 型番 | G100M |
|---|---|
| 測定方法 | フィゾーの干渉原理 |
| 有効通光口径 | 101.6mm |
| 光源 | He-Neレーザー |
| カメラ | 1/1.2インチ, 有効画像数1.2K×1.2K |
| 横解像度 | 全口径分解能ストライプ数＞300セット |
| 測定モード | Sirius耐振機械位相シフトFPSIとPSI |
| RMS簡易繰り返し性 (2σ) | ＜λ/3000 |
| RMS波面繰り返し性 (mean+2σ) | ＜0.6nm |
| 変倍Zoom | 光学ズーム連続可変1X-6X、小サイズも正確に測定できます。 |
| アライメント方式 | 高速デジタルアライメントシステムDAS、アライメント角度±3° |
| 瞳焦点調整範囲 | ±2.5M |
| 平面透過基準レンズ | 石英、PV＜λ/20 |
| 平面反射基準レンズ | 微結晶、PV＜λ/20 |
| システム精度 | PV＜λ/20 |
| 干渉キャビティ内寸法 (長さ×幅×高さ) | 540×360×360mm |
| 機器寸法 (長さ×幅×高さ) | 640×400×1100mm |
| 機器重量 | 90KG |
| 電源 | 100-240VAC, 50/60Hz |
| 作業環境温度 | 15℃-30℃ |
| 温度変換 | ＜0.5℃/h |
| 湿度 | ≤ 70% |
| 防振 | 機械位相シフト測定モードの時は受動防振システムを使用してください。 |
| 品質基準 | GJB/J6221-2008 |