レーザー微細加工の高スループット化に新しいソリューション
こんな加工がしたい・カスタムはできますか・どのレーザーを選べば良いですか等々
レーザー加工に関するお困り事なら渋谷光学へご相談ください。
SUPER WAVE社について
SUPER WAVE社（以下、当社）は2018年に設立され、北京経済技術開発区に位置しています。 超短パルスレーザーおよび関連製品の専門メーカーであり、2020年に国家ハイテク企業に認定され、2021年には北京市の「専門特新」中小企業にも選出されました。
設立以来、優れた超短パルスレーザーを世界のマイクロナノ加工分野に提供するという使命を掲げ、国内外のレーザー分野でトップクラスの有名企業になることを目指しています。 当社が開発した超短パルスレーザーは、主に産業用超精密加工分野で使用されており、ピコ秒およびフェムト秒のシリーズで十数種類にわたる製品を提供しています。 また、ユーザーのニーズに合わせたカスタマイズにも対応しています。
当社は光学、機械、電子、制御のぞれの分野で10年以上の経験をもった研究開発チームを擁し、ユーザー様に価値を提供出来るバックグランドをもっています。
クラス1000の2000平方メートル以上のクリーンルームを備え、 当社のコア技術チームは年間1000台（セット）の各種レーザーを生産する経験と能力を備えています。
また、 常に顧客中心の姿勢を堅持し、高品質な製品と一流のサービスを提供し続けています。
今後もユーザー、サプライヤー、パートナー、研究機関と共にウィンウィンのエコシステムを構築し、技術の進歩と産業発展に取り組んでまいります。
ピコ秒レーザー Leonisシリーズ
パルス幅が1兆分の1秒（10-12秒）で、高精度な微細加工に適しています。熱に敏感な材料の加工に優れ、ポリマーやセラミックの加工に利用されます。 用途としては、微細加工、薄膜パターニング、美容医療（シミ除去など）があります。
IRレーザー
透明材料の精密なレーザー加工においては、ミクロな非熱的アブレーションを起こすフェムト秒レーザーをワーク側で蓄熱が起こる限界の高繰り返しで照射するアプローチがトレンドとなっています。
また従来のデブリやクラックが発生すること無く最大限のアブレーション量が得られるパルス幅とエネルギーを持つピコ秒レーザーは高スループットに向けた高エネルギー＆高繰り返し発振が開発されています。
グリーンレーザー・UVレーザー
可視域や紫外域に吸収を持つ色付き材料の精密なレーザー加工においては、非線形光学結晶を用いた第二高調波（532nm、515nm）第三高調波(355nm,343nm)のパルスレーザーの照射が有効となります。 ワークにより異なる吸収率や残留熱の緩和時間に合わせて波長、エネルギー、パルス幅、照射方法（バースト照射、PODパルスオンデマンド）を活用する事でMAXのスループットを得る事が可能です。
Leonis 15 シリーズ
- パルス幅：<10ps
- 出力：5W-15W
- パルスエネルギー：15μJ-150μJ
- 中心波長：1064nm/532nm/355nm
グリーンピコ秒レーザーのビーム品質（8W / 100kHz）（典型値）
仕様
| 型番 | Leonis-1064-15 | Leonis-532-8 | Leonis-355-5 |
|---|---|---|---|
| 中心波長 | 1064±0.5 nm | 532±0.5 nm | 355±0.5 nm |
| 出力 | 15 W@100 kHz | 8 W@100 kHz | 5W@300 kHz |
| 繰り返し | 1 Hz~1 MHz | 1 Hz~1 MHz | 1 Hz~2 MHz |
| パルスエネルギー | 150 μJ | 80 μJ | 15 μJ |
| 出力安定性 | <1.0%(8 hours, RMS) | <1.5%(8 hours, RMS) | <2%(8 hours, RMS) |
| パルス幅 | ~10 ps | ~7 ps | ~7 ps |
| ビーム品質 | TEM₀₀， M²≤1.3 | TEM₀₀， M²≤1.2 | TEM₀₀， M²≤1.2 |
| 真円率 | >90% | >90% | >90% |
| ビーム径 | 2.0±0.5 mm | 1.5±0.5 mm | 2.0±0.5 mm |
| バーストモード | 1~5 | 1~3 | 1 |
| 外形寸法 | 600*288*132.5 mm³ | 600*288*132.5 mm³ | 600*288*132.5 mm³ |
| 外部制御モード | PSO/POD/GATE (TTLトリガー) | PSO/POD/GATE (TTLトリガー) | PSO/POD/GATE (TTLトリガー) |
| 外部電源制御 | 0~5 V, リニア | 0~5 V, リニア | 0~5 V, リニア |
| 電源要件 | AC 100~240 V/50~60 Hz | AC 100~240 V/50~60 Hz | AC 100~240 V/50~60 Hz |
| 湿度条件 | <60% RH@25 ℃ | <60% RH@25 ℃ | <60% RH@25 ℃ |
| 温度条件 | 22~30 ℃ | 22~30 ℃ | 22~30 ℃ |
| 冷却方式 | 循環水冷 | 循環水冷 | 循環水冷 |
Leonis 80 シリーズ
- パルス幅：<15ps
- 出力：30W-80W
- パルスエネルギー：30μJ-1000μJ
- バーストエネルギー：1mJ-4mJ@Burst 4
- 中心波長：1064nm/532nm/355nm
- 適応素材：２次電池のアノード・カソード、シリコンウエハ
- 加工例：ラミネート電池のアノード・カソード切断、半導体ウエハのダイシング
UVピコ秒レーザーのビーム品質（60W / 2MHz）（典型値）
仕様
| 型番 | Leonis-1064-30 | Leonis-1064-50 | Leonis-1064-80 |
|---|---|---|---|
| 中心波長 | 1064±0.5 nm | 1064±0.5 nm | 1064±0.5 nm |
| 出力 | 30 W@100 kHz | 50 W@100 kHz 50 W@50 kHz |
80 W@Burst 4@20 kHz |
| 繰り返し | 1 Hz~1 MHz | 1 Hz~1 MHz | 1 Hz~1 MHz |
| パルスエネルギー | 300 μJ | 500 μJ@Burst 1 1 mJ@Burst 2 |
4 mJ@Burst 4@20 kHz |
| 出力安定性 | <1.0%(8 hours, RMS) | <1.0%(8 hours, RMS) | <1.0%(8 hours, RMS) |
| パルス幅 | ~10 ps | ~10 ps | ~15 ps |
| ビーム品質 | TEM₀₀， M²≤1.3 | TEM₀₀， M²≤1.3 | TEM₀₀， M²≤1.3 |
| 真円率 | >90% | >90% | >90% |
| ビーム径 | 3.0±0.5 mm | 3.0±0.5 mm | 3.0±0.5 mm |
| バーストモード | 1~5 | 1~5 | 5~6 |
| 外形寸法 | 800*364*140 mm³ | 800*364*140 mm³ | 800*364*140 mm³ |
| 外部制御モード | PSO/POD/GATE (TTLトリガー) | PSO/POD/GATE (TTLトリガー) | PSO/POD/GATE (TTLトリガー) |
| 外部電源制御 | 0~5 V, リニア | 0~5 V, リニア | 0~5 V, リニア |
| 電源要件 | AC 100~240 V/50～60 Hz | AC 100~240 V/50～60 Hz | AC 100~240 V/50~60 Hz |
| 湿度条件 | <60% RH@25 ℃ | <60% RH@25 ℃ | <60% RH@25 ℃ |
| 温度条件 | 22~30 ℃ | 22~30 ℃ | 22~30 ℃ |
| 冷却方式 | 循環水冷 | 循環水冷 | 循環水冷 |
| 型番 | Leonis-532-30 | Leonis-532-80 | Leonis-355-30 | Leonis-355-60 |
|---|---|---|---|---|
| 中心波長 | 532±0.5 nm | 532±0.5 nm | 355±0.5 nm | 355±0.5 nm |
| 出力 | 30 W@100 kHz | 80 W@400 kHz | 30 W@1 MHz | 60 W@2 MHz |
| 繰り返し | 1 Hz~2 MHz | 1 Hz~2 MHz | 1 Hz~6 MHz | 1 Hz~6 MHz |
| パルスエネルギー | 300 μJ | 200 μJ | 30 μJ | 30 μJ |
| 出力安定性 | <1.5%(8 hours, RMS) | <1.5%(8 hours, RMS) | <1%(8 hours, RMS) | <1%(8 hours, RMS) |
| パルス幅 | ~7 ps | ~7 ps | ~7 ps | ~7 ps |
| ビーム品質 | TEM₀₀， M²≤1.2 | TEM₀₀， M²≤1.2 | TEM₀₀， M²≤1.3 | TEM₀₀， M²≤1.3 |
| 真円率 | >90% | >90% | >90% | >90% |
| ビーム径 | 1.5±0.5 mm | 1.5±0.5 mm | 3.0±0.5 mm | 3.0±0.5 mm |
| バーストモード | 1~3 | 1~3 | 1 | 1 |
| 外形寸法 | 800*364*140 mm³ | 800*364*140 mm³ | 800*364*140 mm³ | 800*364*140 mm³ |
| 外部制御モード | PSO/POD/GATE (TTLトリガー) |
PSO/POD/GATE (TTLトリガー) |
PSO/POD/GATE (TTLトリガー) |
PSO/POD/GATE (TTLトリガー) |
| 外部電源制御 | 0~5 V, リニア | 0~5 V, リニア | 0~5 V, リニア | 0~5 V, リニア |
| 電源要件 | AC 100~240 V /50~60 Hz |
AC 100~240 V /50~60 Hz |
AC 100~240 V /50~60 Hz |
AC 100~240 V /50~60 Hz |
| 湿度条件 | <60% RH@25 ℃ | <60% RH@25 ℃ | <60% RH@25 ℃ | <60% RH@25 ℃ |
| 温度条件 | 22~30 ℃ | 22~30 ℃ | 22~30 ℃ | 22~30 ℃ |
| 冷却方式 | 循環水冷 | 循環水冷 | 循環水冷 | 循環水冷 |
Leonis 200 シリーズ
- パルス幅：<15ps
- 出力：80W-200W
- パルスエネルギー：80μJ-500μJ
- 中心波長：1064nm/532nm/355nm
グリーンピコ秒レーザーのビーム品質（120W / 400kHz）（典型値）
仕様
| 型番 | Leonis-1064-200 | Leonis-532-120 | Leonis-355-80 |
|---|---|---|---|
| 中心波長 | 1064±0.5 nm | 532±0.5 nm | 355±0.5 nm |
| 出力 | 200 W@1 MHz | 120 W@400 kHz | 80 W@1 MHz |
| 繰り返し | 1 Hz~2 MHz | 1 Hz~2 MHz | 1 Hz~2 MHz |
| パルスエネルギー | 200 μJ@10ps /500 μJ@20ps | 300 μJ | 80 μJ |
| 出力安定性 | <1.0%(8 hours, RMS) | <1.5%(8 hours, RMS) | <2%(8 hours, RMS) |
| パルス幅 | ~10 ps | ~15 ps | ~15 ps |
| ビーム品質 | TEM₀₀， M²≤1.3 | TEM₀₀， M²≤1.3 | TEM₀₀， M²≤1.3 |
| 真円率 | >90% | >90% | >90% |
| ビーム径 | 3.0±0.5 mm | 2.0±0.5 mm | 2.0±0.5 mm |
| バーストモード | 1~10 | 1~3 | 1 |
| 外形寸法 | 800*420*139.5 mm³ | 800*420*139.5 mm³ | 800*420*139.5 mm³ |
| 外部制御モード | PSO/POD/GATE (TTLトリガー) | PSO/POD/GATE (TTLトリガー) | PSO/POD/GATE (TTLトリガー) |
| 外部電源制御 | 0~5 V, リニア | 0~5 V, リニア | 0~5 V, リニア |
| 電源要件 | AC 100~240 V/50~60 Hz | AC 100~240 V/50~60 Hz | AC 100~240 V/50~60 Hz |
| 湿度条件 | <60% RH@25 ℃ | <60% RH@25 ℃ | <60% RH@25 ℃ |
| 温度条件 | 22~30℃ | 22~30℃ | 22~30℃ |
| 冷却方式 | 循環水冷 | 循環水冷 | 循環水冷 |
Leonis 500 シリーズ
- パルス幅：<15ps
- 出力：100W-500W
- パルスエネルギー：100μJ-200μJ
- 中心波長：1064nm/532nm/355nm
IRピコ秒レーザーのビーム品質（500W / 5MHz）（典型値）
仕様
| 型番 | Leonis-1064-500 | Leonis-532-200 | Leonis-355-100 |
|---|---|---|---|
| 中心波長 | 1064±0.5 nm | 532±0.5 nm | 355±0.5 nm |
| 出力 | 500 W@5 MHz | 200 W@1 MHz | 100 W@1 MHz |
| 繰り返し | 1 Hz~6 MHz | 1 Hz~2 MHz | 1 Hz~2 MHz |
| パルスエネルギー | 100 μJ | 200 μJ | 100 μJ |
| 出力安定性 | <1.0%(8 hours, RMS) | <1.5%(8 hours, RMS) | <2%(8 hours, RMS) |
| パルス幅 | ~10 ps | ~15 ps | ~15 ps |
| ビーム品質 | TEM₀₀， M²≤1.3 | TEM₀₀， M²≤1.3 | TEM₀₀， M²≤1.3 |
| 真円率 | >90% | >90% | >90% |
| ビーム径 | 3.0±0.5 mm | 2.0±0.5 mm | 3.5±0.5 mm |
| バーストモード | 1~10 | 1~3 | 1 |
| 外形寸法 | 980*560*153 mm³ | 980*560*153 mm³ | 980*560*153 mm³ |
| 外部制御モード | PSO/POD/GATE (TTLトリガー) | PSO/POD/GATE (TTLトリガー) | PSO/POD/GATE (TTLトリガー) |
| 外部電源制御 | 0~5 V, リニア | 0~5 V, リニア | 0~5 V, リニア |
| 電源要件 | AC 100~240 V/50~60 Hz | AC 100~240 V/50~60 Hz | AC 100~240 V/50~60 Hz |
| 湿度条件 | <60% RH@25 ℃ | <60% RH@25 ℃ | <60% RH@25 ℃ |
| 温度条件 | 22~30℃ | 22~30℃ | 22~30℃ |
| 冷却方式 | 循環水冷 | 循環水冷 | 循環水冷 |
フェムト秒レーザー Herculesシリーズ
フェムト秒レーザーは、パルス幅が1000兆分の1秒(10-15秒)で、材料への熱影響が極めて少ないため、より精密な加工が可能です。ピコ秒レーザーよりも短いパルス幅を持つため、より高精度な加工が可能ですが、コストが高くなる傾向があります。用途としては、高精度な微細加工、医療分野での精密手術、理化学研究などがあります。
IRレーザー
透明材料の精密なレーザー加工においては、ミクロな非熱的アブレーションを起こすフェムト秒レーザーをワーク側で蓄熱が起こる限界の高繰り返しで照射するアプローチがトレンドとなっています。
また従来のデブリやクラックが発生すること無く最大限のアブレーション量が得られるパルス幅とエネルギーを持つピコ秒レーザーは高スループットに向けた高エネルギー＆高繰り返し発振が開発されています。
グリーンレーザー・UVレーザー
可視域や紫外域に吸収を持つ色付き材料の精密なレーザー加工においては、非線形光学結晶を用いた第二高調波（532nm、515nm）第三高調波(355nm,343nm)のパルスレーザーの照射が有効となります。 ワークにより異なる吸収率や残留熱の緩和時間に合わせて波長、エネルギー、パルス幅、照射方法（バースト照射、PODパルスオンデマンド）を活用する事でMAXのスループットを得る事が可能です。
Hercules 20 シリーズ
- パルス幅：<240fs
- 出力：5W-40W
- パルスエネルギー：5μJ-100μJ
- 中心波長：1030nm/515nm/343nm
IRフェムト秒レーザーのビーム品質（40W / 1000kHz）（典型値）
仕様
| 型番 | Hercules-1030-20-ND | Hercules-1030-40-ND |
|---|---|---|
| 中心波長 | 1030±5 nm | 1030±5 nm |
| 出力 | 20 W@200 kHz | 40 W@1000 kHz |
| 繰り返し | 1 Hz~2 MHz | 1 Hz~2 MHz |
| パルスエネルギー | 100 μJ | 40 μJ |
| 出力安定性 | <1.0%(8 hours, RMS) | <1.0%(8 hours, RMS) |
| パルス幅 | <240 fs | <240 fs |
| ビーム品質 | TEM₀₀， M²≤1.2 | TEM₀₀， M²≤1.2 |
| 真円率 | >90% | >90% |
| ビーム径 | 3.0±0.5 mm | 3.0±0.5 mm |
| バーストモード | 1~10 | 1~10 |
| 外形寸法 | 660*337*150 mm³ | 660*337*150 mm³ |
| 外部制御モード | PSO/POD/GATE (TTLトリガー) | PSO/POD/GATE (TTLトリガー) |
| 外部電源制御 | 0~5 V, リニア | 0~5 V, リニア |
| 電源要件 | AC 100~240 V/50~60 Hz | AC 100~240 V/50~60 Hz |
| 湿度条件 | <60% RH@25 ℃ | <60% RH@25 ℃ |
| 温度条件 | 22~30℃ | 22~30℃ |
| 冷却方式 | 循環水冷 | 循環水冷 |
| 型番 | Hercules-515-10-ND | Hercules-515-20-ND | Hercules-343-5-ND |
|---|---|---|---|
| 中心波長 | 515±3 nm | 515±3 nm | 343±3 nm |
| 出力 | 10 W@200 kHz | 20 W@1000 kHz | 5 W@1000 kHz |
| 繰り返し | 1 Hz~2 MHz | 1 Hz~2 MHz | 1 Hz~2 MHz |
| パルスエネルギー | 50 μJ | 20 μJ | 5 μJ |
| 出力安定性 | <1.0%(8 hours, RMS) | <1.0%(8 hours, RMS) | <1.0%(8 hours, RMS) |
| パルス幅 | <200 fs | <200 fs | <400 fs |
| ビーム品質 | TEM₀₀， M²≤1.2 | TEM₀₀， M²≤1.2 | TEM₀₀， M²≤1.2 |
| 真円率 | >90% | >90% | >90% |
| ビーム径 | 2.0±0.5 mm | 2.0±0.5 mm | 2.0±0.5 mm |
| バーストモード | 1~3 | 1~3 | 1 |
| 外形寸法 | 660*337*150 mm³ | 660*337*150 mm³ | 660*337*150 mm³ |
| 外部制御モード | PSO/POD/GATE (TTLトリガー) | PSO/POD/GATE (TTLトリガー) | PSO/POD/GATE (TTLトリガー) |
| 外部電源制御 | 0~5 V, リニア | 0~5 V, リニア | 0~5 V, リニア |
| 電源要件 | AC 100~240 V/50~60 Hz | AC 100~240 V/50~60 Hz | AC 100~240 V/50~60 Hz |
| 湿度条件 | <60% RH@25 ℃ | <60% RH@25 ℃ | <60% RH@25 ℃ |
| 温度条件 | 22~30℃ | 22~30℃ | 22~30℃ |
| 冷却方式 | 循環水冷 | 循環水冷 | 循環水冷 |
Hercules 30 シリーズ
- パルス幅：<300fs
- 出力：10W-30W
- パルスエネルギー：30μJ-300μJ
- 中心波長：1030nm/515nm/343nm
IRフェムト秒レーザーのビーム品質（30W / 100kHz）（典型値）
仕様
| 型番 | Hercules-1030-30-ND | Hercules-515-15-ND | Hercules-343-10-ND |
|---|---|---|---|
| 中心波長 | 1030±5 nm | 515±3 nm | 343±3 nm |
| 出力 | 30 W@100 kHz | 15 W@100 kHz | 10 W@300 kHz |
| 繰り返し | 1 Hz~2 MHz | 1 Hz~2 MHz | 1 Hz~2 MHz |
| パルスエネルギー | 300 μJ | 150 μJ | 30 μJ |
| 出力安定性 | <1.0%(8 hours, RMS) | <1.0%(8 hours, RMS) | <1.0%(8 hours, RMS) |
| パルス幅 | <300 fs | <300 fs | <400 fs |
| ビーム品質 | TEM₀₀， M²≤1.2 | TEM₀₀， M²≤1.2 | TEM₀₀， M²≤1.2 |
| 真円率 | >90% | >90% | >90% |
| ビーム径 | 3.0±0.5 mm | 2.5±0.5 mm | 3.0±0.5 mm |
| バーストモード | 1~10 | 1~3 | 1 |
| 外形寸法 | 800*432*149 mm³ | 800*432*149 mm³ | 800*432*149 mm³ |
| 外部制御モード | PSO/POD/GATE (TTLトリガー) | PSO/POD/GATE (TTLトリガー) | PSO/POD/GATE (TTLトリガー) |
| 外部電源制御 | 0~5 V, リニア | 0~5 V, リニア | 0~5 V, リニア |
| 電源要件 | AC 100~240 V/50~60 Hz | AC 100~240 V/50~60 Hz | AC 100~240 V/50~60 Hz |
| 湿度条件 | <60% RH@25 ℃ | <60% RH@25 ℃ | <60% RH@25 ℃ |
| 温度条件 | 22~30℃ | 22~30℃ | 22~30℃ |
| 冷却方式 | 循環水冷 | 循環水冷 | 循環水冷 |
Hercules 80 シリーズ
- パルス幅：<600fs
- 出力：30W-80W
- パルスエネルギー： 30μJ-500μJ
- 中心波長：1030nm/515nm/343nm
IRフェムト秒レーザーのビーム品質（50W / 200kHz）（典型値）
仕様
| 型番 | Hercules-1030-50 | Hercules-1030-80 |
|---|---|---|
| 中心波長 | 1030±5 nm | 1030±5 nm |
| 出力 | 50 W@200 kHz | 80 W@200 kHz |
| 繰り返し | 1 Hz~2 MHz | 1 Hz~2 MHz |
| パルスエネルギー | 250 μJ | 400 μJ |
| 出力安定性 | <1.0%(8 hours, RMS) | <1.0%(8 hours, RMS) |
| パルス幅 | <600 fs | <600 fs |
| ビーム品質 | TEM₀₀， M²≤1.3 | TEM₀₀， M²≤1.3 |
| 真円率 | >90% | >90% |
| ビーム径 | 2.5±0.5 mm | 2.5±0.5 mm |
| バーストモード | 1~10 | 1~10 |
| 外形寸法 | 800*432*149 mm³ | 800*432*149 mm³ |
| 外部制御モード | PSO/POD/GATE (TTLトリガー) | PSO/POD/GATE (TTLトリガー) |
| 外部電源制御 | 0~5 V, リニア | 0~5 V, リニア |
| 電源要件 | AC 100~240 V/50~60 Hz | AC 100~240 V/50~60 Hz |
| 湿度条件 | <60% RH@25 ℃ | <60% RH@25 ℃ |
| 温度条件 | 22~30 ℃ | 22~30 ℃ |
| 冷却方式 | 循環水冷 | 循環水冷 |
| 型番 | Hercules-515-30 | Hercules-515-80 | Hercules-343-30 |
|---|---|---|---|
| 中心波長 | 515±3 nm | 515±3 nm | 343±1 nm |
| 出力 | 30 W@200 kHz | 80 W@200 kHz | 30 W@1 MHz |
| 繰り返し | 1 Hz~2 MHz | 1 Hz~2 MHz | 1 Hz~2 MHz |
| パルスエネルギー | 150 μJ | 400 μJ | 30 μJ |
| 出力安定性 | <1.5%(8 hours, RMS) | <1.5%(8 hours, RMS) | <2.0%(8 hours, RMS) |
| パルス幅 | <500 fs | <550 fs | <500 fs |
| ビーム品質 | TEM₀₀， M²≤1.3 | TEM₀₀， M²≤1.3> | TEM₀₀， M²≤1.3 |
| 真円率 | >90% | >90% | >85% |
| ビーム径 | 2.0±0.5 mm | 2.5±0.5 mm | 2.5±0.5 mm |
| バーストモード | 1~3 | 1~3 | 1 |
| 外形寸法 | 800*432*149 mm³ | 800*432*149 mm³ | 800*432*149 mm³ |
| 外部制御モード | PSO/POD/GATE (TTLトリガー) | PSO/POD/GATE (TTLトリガー) | PSO/POD/GATE (TTLトリガー) |
| 外部電源制御 | 0~5 V, リニア | 0~5 V, リニア | 0~5 V, リニア |
| 電源要件 | AC 100~240 V/50~60 Hz | AC 100~240 V/50~60 Hz | AC 100~240 V/50~60 Hz |
| 湿度条件 | <60% RH@25 ℃ | <60% RH@25 ℃ | <60% RH@25 ℃ |
| 温度条件 | 22~30 ℃ | 22~30 ℃ | 22~30 ℃ |
| 冷却方式 | 循環水冷 | 循環水冷 | 循環水冷 |
Hercules 300 シリーズ
- パルス幅：<400fs
- 出力：120W-300W
- パルスエネルギー：120μJ-2000μJ
- 中心波長：1030nm/515nm
IRフェムト秒レーザーのビーム品質（200W / 100kHz）（典型値）
仕様
| 型番 | Hercules-1030-200 | Hercules-1030-300 | Hercules-515-120 |
|---|---|---|---|
| 中心波長 | 1030±5 nm | 1030±5 nm | 515±3 nm |
| 出力 | 200 W@100 kHz | 300 W@1 MHz | 120 W@1 MHz |
| 繰り返し | 1 Hz~2 MHz | 1 Hz~2 MHz | 1 Hz~2 MHz |
| パルスエネルギー | 2 mJ | 300 μJ | 120 μJ |
| 出力安定性 | <1.0%(8 hours,RMS) | <1.0%(8 hours,RMS) | <1.0%(8 hours,RMS) |
| パルス幅 | <400 fs | <400 fs | <350 fs |
| ビーム品質 | TEM₀₀，M²≤1.3 | TEM₀₀，M²≤1.3 | TEM₀₀，M²≤1.3 |
| 真円率 | >90% | >90% | >90% |
| ビーム径 | 3.0±0.5 mm | 3.0±0.5 mm | 2.0±0.5 mm |
| バーストモード | 1~10 | 1~10 | 1~3 |
| 外形寸法 | 980*560*153 mm³ | 980*560*153 mm³ | 980*560*153 mm³ |
| 外部制御モード | PSO/POD/GATE (TTLトリガー) | PSO/POD/GATE (TTLトリガー) | PSO/POD/GATE (TTLトリガー) |
| 外部電源制御 | 0~5 V, リニア | 0~5 V, リニア | 0~5 V, リニア |
| 電源要件 | AC 100~240 V/50~60 Hz | AC 100~240 V/50~60 Hz | AC 100~240 V/50~60 Hz |
| 湿度条件 | <60% RH@25 ℃ | <60% RH@25 ℃ | <60% RH@25 ℃ |
| 温度条件 | 22~30 ℃ | 22~30 ℃ | 22~30 ℃ |
| 冷却方式 | 循環水冷 | 循環水冷 | 循環水冷 |